凈化型勻膠機 型號CKF-411
凈化勻(yun)膠機是適合半(ban)導體(ti)(ti)硅(gui)片的(de)(de)勻(yun)膠鍍膜等其用途廣(guang)泛包括(kuo)適合半(ban)導體(ti)(ti)大型晶圓硅(gui)片,芯片,晶片,等各種膠體(ti)(ti)的(de)(de)工藝制版表面涂(tu)覆或光刻工藝勻(yun)膠。是集成電路(lu)及半(ban)導體(ti)(ti)件(jian) 過程中涂(tu)復光致抗腐蝕劑的(de)(de)設備
凈化型勻膠機 型號CKF-411
設備中涂膠部分四個工位單片微型機控制四個工位同時工作或分別工作,即各工位的運轉單獨傳動,轉數單獨調節及單獨顯示。
為保證在涂膠工藝中不飛片,設備中吸頭和氣泵中間有四個電磁閥,同時增加一個負壓儲氣罐,保證了吸片牢固和可靠性。
設備中配有的空氣(qi)凈化裝置。
凈化型勻膠機 型號CKF-411
主要技術指標:
勻膠工位:1個工位 或者 4個工位
勻膠時間:1-99秒
勻膠轉數:500-8000轉/分
凈化效果:100級(美國聯邦標準)
操作區風速:0.3-0.5米/秒(有效操作區氣流狀態:垂直層流()
適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠
外形尺寸:650x750x1620mm
外體顏色:瓷白色
1.控制范圍和精度:轉速控制范圍為:500-8000轉,精度為±3%
2.時間控制范圍為:1-99秒,精度為±5%
3.轉速調整采用高精度D/A轉換,具有128級的精度調諧。
4.轉速查看智能化。(自動識別哪個電機開或關)自動轉換到開啟的電機上。可予先選定,也可在運行中隨時查看任一電機的轉速。
5.采用的I2C總線技術和E2PRAM數字存儲器,可預存10組工藝參數(勻膠機A型機可予存10個延時時間,40個電機轉速參數。B型機可予存20個時間參數,80個轉速參數;顯影機可保存9個慢啟動參數,30個時間,30個轉速參數)。保存的參數掉電10年不丟失。調整后的參數自動保存,簡化了操作。
6.具有全自動智能控制功能,當使用全自動方式時只需放好工件,然后按一下ATART(開始)鍵,吸盤自動打開,定時工作完成后延時6秒電機停穩后自動關閉吸盤,喇叭鳴三聲,提示完成工作。大大的提高了工作效率。
7.定時的(de)(de)(de)時間和轉(zhuan)速的(de)(de)(de)測(ce)量(liang)全部(bu)由(you)軟件控(kong)制,定時部(bu)分(fen)采用(yong)(yong)的(de)(de)(de)方式顯(xian)(xian)示(shi),轉(zhuan)速測(ce)量(liang)部(bu)分(fen)直接顯(xian)(xian)示(shi)被(bei)測(ce)電機的(de)(de)(de)每分(fen)鐘轉(zhuan)數。調整部(bu)分(fen)由(you)軟件和D/A轉(zhuan)換器(qi)控(kong)制,去掉了(le)原使(shi)(shi)用(yong)(yong)CMOS電路采用(yong)(yong)的(de)(de)(de)撥盤開(kai)關(guan)和機械電位器(qi)的(de)(de)(de)機械觸點。在原基礎上(shang)增加了(le)全自動功能,減少了(le)操作程序,避(bi)免了(le)頻繁的(de)(de)(de)開(kai)關(guan)面板上(shang)的(de)(de)(de)按鍵開(kai)關(guan),大大的(de)(de)(de)降低(di)了(le)按鍵開(kai)關(guan)因頻繁使(shi)(shi)用(yong)(yong)而損壞。提高(gao)了(le)整機的(de)(de)(de)可靠性和使(shi)(shi)用(yong)(yong)壽命。調整,啟動,切(qie)換,停止,并(bing)有提示(shi)音(yin)。

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